报告题目:

氧化铟锌（IZO)基靶材致密化行为及溅射效应研究

报告人:

王之君

所在单位:

郑州大学

报告人简介：

王之君,毕业于西安交通大学，获工学博士学位。2021年加入郑州大学先进靶材研究中心孙本双教授团队，讲师。团队长期致力于平板显示及太阳能电池用氧化物靶材（ITOIGZOIZOAZOIWO等)的研发，在纳米氧化物粉体制备、大尺寸靶材均匀成型、短流程氧气氛烧结等方面积累了丰富经验。本人的主要研究兴趣为面向高世代平板显示用高迁、高透掺杂IZO薄膜的制备工艺及其靶材致密化行为研究。目前主持省部级科研项目2项，参与国家重点研发项目1项，发表SCI论文6篇，申请国家发明专利8件。

摘要：

氧化铟锌（IZO）非晶透明导电氧化物（α-TCO）薄膜具有优异的透明导电性、表面平整光滑、易于刻蚀和大面积制备、兼容现有工艺、无须后续退火处理进而简化工流程等优点，用于平板显示用透明电极，TFT沟道层材料以及HJT电池用高迁高透薄膜，是传统ITO薄膜的理想高端替代。靶材作为制备薄膜的基础材料，制备出纯度高、致密度高、电阻率低以及成膜性好的IZO靶材是获得高品质薄膜的关键，亦是进一步提高器件性能的重要因素。本工作围绕IZO及其掺杂体系靶材及其溅射薄膜制备，系统研究氧化物粉体制备，素坯成型，烧结过程中的晶粒生长、物相结构、致密化机制及靶材溅射微观效应，以期开发出满足高世代平板显示用技术指标的新型IZO基靶材，为平板显示用基础光电材料的研发提供理论指导。